【滨化集团核心业务取得重大突破:高纯氟化氢气体品质达到6N等级,超高纯电子级氢氟酸项目产品指标优于SEMI-G5级】
7月19日,滨化集团在高端半导体材料领域迎来双重里程碑——两项核心业务取得重大突破,标志着公司在“科技驱动,向上突围”战略征程上迈出关键一步。 上午,北鲲计划——滨化集团电子级高纯氟化氢气体投产暨新产品发布会举行。高纯氟化氢气体是半导体晶圆制造中干法蚀刻、腔体清洁等关键工艺的核心电子特气。滨化集团产品品质达到6N等级(99.9999%),填补了山东省高纯氟化氢产能空白。
来源:华尔街见闻